Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Traité EGEM, série Microsystèmes

Coordonnateur : de LABACHELERIE Michel

Langue : Français

105,00 €

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Date de parution :
Ouvrage 326 p. · 16x24 cm · Relié
ISBN : 9782746208179 EAN : 9782746208179
Éditions Lavoisier

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Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.
Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V. Conédéra. Les dépôts en couches minces -W. Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P. Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P. Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P. Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L. Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.