Microsystèmes opto-électromécaniques MOEMS Traité EGEM, série Microsystèmes

Les fonctionnalités nouvelles introduites par les microsystèmes MOEMS résultent de la miniaturisation et de l'association de l'optique, de l'électronique et de la mécanique. Ils bénéficient des attributs des microsystèmes en général, qui les rendent très attractifs pour le développement industriel et commercial. Les dispositifs des MOEMS peuvent être divisés en deux grandes catégories : les composants fonctionnant selon les principes de l'optique géométrique pour la commutation spatiale de la lumière et les composants permettant la manipulation des interférences optiques. Les grands domaines d'application concernent les télécommunications optiques et les micro-capteurs. Parmi les technologies MOEMS, celles qui exploitent les micro-technologies silicium prennent une importance grandissante, après avoir contribué au développement des microsystèmes MEMS. Elles présentent l'avantage d'être compatibles avec les technologies CMOS standard et d'exploiter ainsi la puissance de traitement des circuits VLSI. Le présent traité a été composé par des chercheurs et ingénieurs, membres d'institutions et de laboratoires français de premier plan dans le secteur des MOEMS. L'essentiel des domaines scientifiques et techniques relatifs aux MOEMS y est exposé, et une place est faite aux aspects technico-économiques liés à la croissance explosive des besoins en télécommunications optiques.

Les microdéflecteurs optiques -Henri Camon. Microtechniques pour l'alignement optique et le packaging -Michel de Labachelerie. MOEMS III-V -Jean-Louis Leclercq, Michel Garrigues, Pierre Viktorovitch. Aspects technico-économiques : tendances et marchés -Philippe Bregi, Rémy Pottier. MOEMS pour la correction de surface d'onde en optique adaptative -Wilfrid Schwartz, Jean-Luc Beuzit, Pierre Kern. Microsystèmes pour les télécommunications optiques -Philippe Hélin, Tarik Bourouina, Gilbert Reyne. Une antenne de recherche française au Japon : le LIMMS -Jean-Philippe Gouy. Index.